南京工业职业技术大学电气学院丁强博士团队与企业携手，共同研发出“全自由度磁悬浮离心式流体泵”，这一创新成果攻克了当前半导体工业领域核心关键部件研发的“卡脖子”难题。全自由度磁悬浮离心式流体泵主要用于半导体工业超纯净强腐蚀应用环境，在研磨、清洗、化镀等关键工艺过程中起到药液介质传送作用。

该研究成果的工程化落地打破了此项技术原先仅由瑞士某公司全球独家垄断的格局，对国内半导体企业（特别是被列入“实体清单”名录的国内半导体企业）起到实质性助力。相较于进口国外产品，能节省采购费用40%以上、缩短供货周期近200%，为“国产替代”提供了南工技术方案。目前，研发产品进入量产销售阶段，已累计销售产品千余套，国内代表性用户包括中芯国际、长江存储、盛美半导体、华海清科及长鑫存储等大型半导体企业。

该成果依托于江苏省工业在线检测与智能感知重点实验室、风力发电工程技术中心等省级平台的建设，自项目启动以来，校企双方累计研发投入超1500万元。该项目技术门槛高、学科交叉融合特征明显，涉及电磁动力学、流体动力学、材料学、热力学、非线性解耦控制理论、大间距无接触检测感知技术等多学科方向。南京工业职业技术大学电气工程学院参与项目的4名学生，毕业后以研发岗入职合作企业，继续从事该项目的研发、测试及用户现场调试等工作。

近期，项目团队与合作企业在前期合作基础上进一步深化合作，签订“面向半导体工业超纯净强腐蚀应用环境的全自由度磁悬浮轴流式流体机械工程化研制”项目，首期合同金额超百万。

来源：南京工业职业技术大学电气学院